外潔凈技術的發(fā)展都是隨著科學技術的發(fā)展特別是軍事工業(yè)、航天、電子和生物醫(yī)藥等工業(yè)的發(fā)展而不斷發(fā)展的。現(xiàn)代工業(yè)產(chǎn)品和現(xiàn)代化科學實驗活動要求微型化、精密化、高純度、高質(zhì)量和高可靠性。

要生產(chǎn)這些產(chǎn)品，就必須達到相應的受控生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度等級。對于現(xiàn)今以“微型電腦”為手段的電子信息時代，產(chǎn)品的高質(zhì)量、高可靠性的重要意義是不言而喻的?；谶@種趨勢，潔凈技術的發(fā)展已成為現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)和科學實驗活動*的重要標志之一。

潔凈室設計（包括潔凈空調(diào)設計）是潔凈技術的重要組成部分。潔凈廠房內(nèi)的壓力，溫度，濕度，空氣流速以及空氣潔凈度等因素控制的好壞直接影響到生產(chǎn)質(zhì)量是否達標。 

一、潔凈室污染控制技術方案

空氣凈化的主要任務是根據(jù)各種產(chǎn)品生產(chǎn)工藝、不同工序、各類房間的空氣潔凈度等級需要，采取空氣過濾技術措施將潔凈室內(nèi)空氣中懸浮的粒狀或化學分子污染物質(zhì)降低到允許的濃度下。

潔凈室內(nèi)的污染源主要來自四個方面：

1、大氣中含塵、含菌、凈化空調(diào)系統(tǒng)中新風帶入的塵粒和微生物；

2、作業(yè)人員發(fā)塵；

3、建筑圍護結(jié)構、設施的產(chǎn)塵，這里包括墻、頂棚、地面和一些裸露管線的產(chǎn)塵；

4、設備及產(chǎn)品生產(chǎn)過程的產(chǎn)塵。

為保證產(chǎn)品環(huán)境或其他用途的潔凈室所要求的空氣潔凈度，要采取多種綜合技術措施才能達到要求。這些綜合措施包括：應采用產(chǎn)生污染物少的生產(chǎn)工藝及設備，或采取必要的隔離和負壓措施防止生產(chǎn)工藝產(chǎn)生的污染物質(zhì)向周圍擴散，采用產(chǎn)塵少、不易滋生微生物的室內(nèi)裝修材料及器具；減少人員及物料帶入室內(nèi)的污染物質(zhì)；維持生產(chǎn)環(huán)境相對于室外或空氣潔凈度等級要求高的環(huán)境有一定的正壓，防止室外或鄰室的空氣攜帶污染物質(zhì)通過門窗過其他縫隙、孔洞侵入；加強潔凈室的管理，按規(guī)定進行清掃、滅菌等。

除采取上述種種技術措施之外，為使生產(chǎn)環(huán)境或其他用途的潔凈室室內(nèi)環(huán)境控制在所要求的空氣潔凈度等級，重要的技術措施是需要送入足夠量的經(jīng)過處理的清潔空氣，以替換或稀釋室內(nèi)在正常工作時所產(chǎn)生的污染空氣。潔凈室的空氣凈化處理就是根據(jù)房間不同的潔凈度等級要求，采取不同方式送入經(jīng)過處理的數(shù)量不等的清潔空氣，同時排走相應數(shù)量的攜帶有污染物質(zhì)玷污的空氣，靠這樣的動態(tài)平衡，使室內(nèi)環(huán)境維持在所需的空氣潔凈度等級。

目前潔凈室對送入空氣的潔凈方法，重要和使用廣泛的方式是空氣過濾法。送入潔凈室的清潔空氣，主要是靠送風系統(tǒng)的各個部位設置不同性能的空氣過濾器，用以除去空氣中的懸浮粒子和微生物。

下面將對潔凈室污染控制領域中比較新穎的技術方案進行介紹：

（1）用傳統(tǒng)的噴水室濕式處理空氣法來處理新風中的化學物質(zhì)。近幾年來許多國家開展了很多證明了其有效性。

（2）采用有殺菌作用的HEPA過濾器(殺菌酵素過濾囂)。過去采用金屬離子的毒性來殺菌，如銀型陽高于交換纖維制成的空氣過濾器，現(xiàn)今可采用從生物體中提取的天然酵素將細菌的細胞壁溶解以達到殺菌的目的，是一種安全的滅菌措施，它防止了過濾器上微生物增殖所產(chǎn)生的二次污染。

（3）采用UV光電子空氣凈化方法。這種方法不同于普通的靜電過濾器。該方法利用將紫外線照射在金屬膜層上產(chǎn)生的光電效應，在空氣中產(chǎn)生電子和負離子使流經(jīng)的污染物質(zhì)荷電并被集塵捕集(圖1所示)。目前在有限的小空間范圍內(nèi)已有應用。

（4）采用除海鹽粒子過濾器。沿海岸地區(qū)空氣中含鹽量較多，臺風等強風作用下會更高。

這種狀況對微電子工廠為不利?，F(xiàn)在有兩種措施：

1)所采用的濾材即使在大量鹽分附著后不容易析出；

2)在空調(diào)箱進入段處先設噴水段及檔水板，可先捕集90％的海鹽粒子，再經(jīng)普通的空氣過濾器清除未被捕集的粒子。噴霧用水應直接排放出，不予回收。對于臨海設置的微電子工廠在空調(diào)凈化裝置中應予考慮。

（5）采用智能型空氣離子凈化系統(tǒng)。近幾年來歐洲開發(fā)了一種智能化凈化系統(tǒng)，它利用離子發(fā)生工作單元的高壓電離原理，釋放出穩(wěn)定的正負電氧離子族，帶電氧離子與VOC物質(zhì)發(fā)生反應，以達到去除臭味凈化空氣的目的。

為保證室內(nèi)空氣質(zhì)量處于理想狀態(tài)，該系統(tǒng)還配有智能化控制系統(tǒng)，通過送風管上的風速、濕度和傳感器及回風管和新風管中的空氣品質(zhì)傳感器并將檢測數(shù)據(jù)傳到電離控制器，以控制離子發(fā)生單元的工作強度，自動控制室內(nèi)的空氣品質(zhì)，同時這些數(shù)據(jù)通過傳送器和網(wǎng)絡，可以進行遠程監(jiān)控。

（6）采用新型空氣吹淋室。傳統(tǒng)的吹淋室對人體吹淋停止后，小室內(nèi)的含塵空氣有可能被帶入車間，新改進的吹琳室，具有快速自凈的功能，當停止吹淋氣流后，可部分轉(zhuǎn)換成頂部垂直氣流，這樣可使小室內(nèi)空氣含塵量很快降低，達到自凈效果。

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