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TECHNICAL ARTICLES風(fēng)淋室屬于光學(xué)薄膜潔凈室的一種常見設(shè)施。光學(xué)薄膜主要由薄的分層介質(zhì)構(gòu)成的,通過界面?zhèn)鞑ス馐囊活惞鈱W(xué)介質(zhì)材料,如今光學(xué)薄膜已廣泛用于光學(xué)和光電子技術(shù)領(lǐng)域,制造各種光學(xué)儀器。光學(xué)薄膜的特點是:表面光滑,膜層之間的界面呈幾何分割。膜層的折射率在界面上可以發(fā)生躍變,但在膜層內(nèi)是連續(xù)的,可以是透明介質(zhì),也可以是光學(xué)薄膜吸收介質(zhì);可以是法向均勻的,也可以是法向不均勻的。實際應(yīng)用的薄膜要比理想薄膜復(fù)雜得多。這是因為在制備時,薄膜的光學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)偏離大塊材料,其表面和界面是粗糙的,從而導(dǎo)致光束的漫散射,膜層之間的相互滲透形成擴散界面。由于膜層的生長、結(jié)構(gòu)、應(yīng)力等原因,形成了薄膜的各向異性,膜層具有復(fù)雜的時間效應(yīng)。
光學(xué)薄膜按應(yīng)用分為反射膜、增透膜、濾光膜、光學(xué)保護膜、偏振膜、分光膜和位相膜。常用的是前4種。光學(xué)反射膜用以增加鏡面反射率,常用來制造反光、折光和共振腔器件。光學(xué)增透膜沉積在光學(xué)元件表面,用以減少表面反射,增加光學(xué)系統(tǒng)透射,又稱減反射膜。光學(xué)濾光膜用來進行光譜或其他光性分割,其種類多,結(jié)構(gòu)復(fù)雜。光學(xué)保護膜沉積在金屬或其他軟性易侵蝕材料或薄膜表面,用以增加其強度或穩(wěn)定性,改進光學(xué)性質(zhì)。常見的是金屬鏡面的保護膜。
風(fēng)淋室備在光學(xué)薄膜生產(chǎn)車間使用的主要原因是光學(xué)薄膜生產(chǎn)車間潔凈度要求高,光學(xué)薄膜不能有一點灰塵。進入光學(xué)薄膜生產(chǎn)車間,每個人必須換上工人工作時穿的衣服、帽子、鞋子與口罩。我們被包裹得嚴(yán)嚴(yán)實實,只有一雙眼睛露在外面。要經(jīng)過了一道“風(fēng)淋室"去塵,每個人被風(fēng)淋室吹出潔凈風(fēng)渾身“沐浴"一遍。風(fēng)淋室是員工進入潔凈室與非潔凈室*的凈化設(shè)備之一,它可以大限度地減少員工進出潔凈室所帶來的污染問題,對待進入光學(xué)薄膜生產(chǎn)車間管理中起到一定的作用。在其它特定的潔凈車間內(nèi),還配置了多條百級凈工作臺生產(chǎn)流水線使用。
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